主要技术指标：
a、工作温度范围：150℃～800℃
b、升温速率：0.01℃～80℃/s，可设定
c、密封石英腔尺寸：290mmx230mmx18mm
d、载物台：ф160mm，适用于6英寸晶片
e、欧陆程序控制，可设置任意大小的升温曲线，编程及操作十分方便灵活，控制精度高，快速升温过冲小
f、不锈钢反应室上下反射面聚焦设计，表面镀金，增加热反射，减少热散失，极大提高加热效率，有利于快速升温
g、整个炉体采用水冷却，确保炉体散热和快速降温。
