主要技术指标：
1.腔体内尺寸：360mm(D)X250mm（W）X110mm(H)（参考尺寸）。
2.装片容量：最大1-7片标准8寸片。
3.腔体温度：30——60℃可调。温控表控温，由PLC设置和显示。控制精度±1℃。
4.管道HF压力：700---550Torr。
5.管道温度：30——60℃可调。温度控制精度±1℃。
6.腔体真空度：50-250Torr。
7.HF气体流量：20——1000ml/min。
8.N2气体流量：40——2000ml/min。
9.乙醇液体流量：40——2000ug/min。
10.所有压力表头及压力传感器接口均为VCR型式。
11.外框面板采用冷板喷塑，厚度1.5mm，符合常规半导体生产设备颜色。
