主要技术指标：
a、电源：220V 50Hz 1KW
b、整机尺寸：550mmx1600mmx500mm（内置真空泵）
c、固体射频电源：f＝13.56MHz，0～500W连续可调。（带自动匹配器）
d、最大装片容量：20片/次
e、最装片直径：100mm
f、去胶速率：>500Å/min（正胶）
g、四片电容式极板，反应室口进气，有利于提高等离子体均匀性和去胶速率
h、真空度：约－100k
i、气体流量：0.2～1L/Min，美国浮子流量计控制气体流量
j、真空腔：GE石英ф200mmx300mm
k、自动匹配器。
l、控制方式：PLC、触摸屏控制。
m、2L/s机械真空泵