等离子清洗机

等离子清洗机是一种表面处理设备, 用气体作为处理介质,它是利用能量转换技术以电能将气体转换为化学反应性和活性很高的气体等离子体,等离子体对固体样品表面进行相互作用,引起分子结构改变,从而对样品表面的有机污染物进行超清洗和使样品表面改性,以获得希望的表面特性。用气体作为处理介质有效地避免了对环境和样品带来的二次污染。 等离子清洗机外接一台真空泵,工作时气体等离子体轻柔冲刷样品的表面, 短时间就可以使有机污染物被彻底地清洗掉,同时污染物被真空泵抽走,其清洗能力达到分子级。 等离子清洗机可对样品的表面改性,加强样品的粘附性、相容性和浸润性,也可对样品消毒和杀菌

产品详情

主要技术指标:
1.电源:220V 50Hz 1.5KW。
2.固体高能离子发生器:13.56MHz;0~500W连续可调。
3.最大装片直径:6英寸。
4.起辉真空度:约-100KPa左右。
5.气体流量:0~5L/min。(质量流量计)
6.基片温度:<100℃。
7.真空腔:铝腔。
8.4L/s机械真空泵。
9.自动匹配器。
10.控制方式:PLC、触摸屏控制。