主要技术指标:
1.电源:220V 50Hz 1.5KW。
2.固体高能离子发生器:13.56MHz;0~500W连续可调。
3.最大装片直径:6英寸。
4.起辉真空度:约-100KPa左右。
5.气体流量:0~5L/min。(质量流量计)
6.基片温度:<100℃。
7.真空腔:铝腔。
8.4L/s机械真空泵。
9.自动匹配器。
10.控制方式:PLC、触摸屏控制。